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【廣東,深圳市】深圳大學ICP-RIE等離子刻蝕機意向公開
標簽： 招標預告廣東深圳大學ICP-RIE等離子刻蝕機意向公開深圳大學招標信息招標采購
發(fā)布時間： 2024-09-25
發(fā)布時間 2024-09-25 截止日期 立即查看
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招標預告詳情

***ICP-RIE等離子刻蝕機意向公開 采購單位: *** 項目名稱: ICP-RIE等離子刻蝕機 預算金額***4,020,000.000 采購品目: 壓片加工設備 采購需求概況: ICP-RIE等離子刻蝕設備利用感應耦合產生高密度等離子體，實現(xiàn)硅、介質、石英等材料的干法刻蝕，并能在常溫下完成Bosch工藝，實現(xiàn)深硅刻蝕，具備激光終點監(jiān)測功能。高耦合效率和低離子能量，減少材料損傷，結合動態(tài)溫度與氣體流量控制，實現(xiàn)高精度刻蝕。Bosch工藝用于精細刻蝕三維結構，達到高深寬比、高選擇性和垂直度。激光終點監(jiān)測功能確?？涛g精度，滿足多層結構加工中對每層刻蝕深度、形狀和位置***。 聯(lián)系人: 陳老師 聯(lián)系電話: ***520 預計采購時間: 2024-10 備注: 無

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